1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求。如:真空鍍膜要求1×10-5mmhg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmhg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級。2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:擴散泵為10-3~10-7mmhg,在這樣寬壓強范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強而變化,其穩(wěn)定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmhg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內(nèi),而不能讓它在10-8mmhg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmhg下工作,但其工作壓強應小于1×10-5mmhg為好。3、真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。5、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。6、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。8、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。9、真空泵的價格、運轉(zhuǎn)及維修費用。