爪形轉(zhuǎn)子干式機(jī)械真空泵(又簡稱爪式泵)在泵殼內(nèi)具有兩個(gè)共軛嚙合的爪形轉(zhuǎn)子。與羅茨真空泵類似,轉(zhuǎn)子由一對同步高精度齒輪來帶動旋轉(zhuǎn)并固定相位。轉(zhuǎn)子型線由六段擺線和圓弧組成,轉(zhuǎn)子之間及轉(zhuǎn)子與泵殼之間并不接觸,留有微小的間隙。氣體的進(jìn)氣口和排氣口均設(shè)在泵殼的端面上,分別由兩個(gè)轉(zhuǎn)子端面周期性的定時(shí)開閉,具有閥的調(diào)節(jié)作用。爪形轉(zhuǎn)子干式機(jī)械真空泵的整機(jī)型式分為立式和臥式兩種。臥式結(jié)構(gòu)以英國愛德華公司開發(fā)的一級羅茨轉(zhuǎn)子加上三級爪形轉(zhuǎn)子的dp80型機(jī)械真空泵為代表。羅茨轉(zhuǎn)子為高真空吸氣級,爪形轉(zhuǎn)子為壓縮排氣級,這樣安排可以在低入口壓力下得到大抽氣速率。其極限壓力可達(dá)1pa以下。這種結(jié)構(gòu)的泵特點(diǎn)是整機(jī)重心低,各級轉(zhuǎn)子與隔板之間的間隙易于調(diào)整。為了在低壓下獲得較大抽速,泵的羅茨吸氣級要做得比爪形排氣級大50%。為了避免泵在粗抽期間產(chǎn)生組間“過壓”,在羅茨及中間爪型級之間設(shè)有較大的傳輸空間作為壓力緩沖空間。另外還可以安裝級間過壓安全閥以保證工作可靠。為了有助于抽除水蒸汽,在泵的排氣級設(shè)置了氣鎮(zhèn)閥。泵的傳動型式與羅茨真空泵相同。通過以上分析可知,爪形轉(zhuǎn)子干式機(jī)械真空泵同時(shí)具有羅茨真空泵和旋片真空泵的優(yōu)點(diǎn)。